Europa will bei Spitzenchips unabhängiger werden – und ASML rückt dabei noch näher an das Herzstück der Entwicklung. In Belgien läuft im neuen NanoIC-Pilotzentrum erstmals in Europa ASMLs fortschrittlichstes High-NA-EUV-System. Was bringt diese Anlage der europäischen Chipstrategie konkret?
Die wichtigsten Fakten in Kürze:
– Standort: NanoIC-Pilotlinie bei imec, Leuven (Belgien)
– Gesamtinvestition: 2,5 Mrd. Euro
– EU-Förderung: 700 Mio. Euro (plus nationale und regionale Mittel)
– Technologie: High NA EUV für Designs jenseits von 2 Nanometern
2,5 Milliarden für NanoIC
Die NanoIC-Pilotlinie bei imec hat laut EU-Kommission 700 Mio. Euro aus EU-Mitteln erhalten. Nationale und regionale Regierungen steuerten entsprechende Beträge bei. Den Rest brachten ASML und weitere Industriepartner ein. So summiert sich das Gesamtpaket auf 2,5 Mrd. Euro – die bislang größte Investition der EU im Rahmen des Chips-Act-Programms.
Eröffnet wurde die Anlage am 9. Februar. Zur Einweihung kamen unter anderem EU-Exekutiv-Vizepräsidentin Henna Virkkunen, Belgiens Premier Bart De Wever und der flämische Ministerpräsident Matthias Diependaele.
High NA EUV: ASML-Technik im Zentrum
NanoIC ist der erste Standort in Europa, an dem ASMLs High-NA-EUV-Lithografiesystem eingesetzt wird. Ziel sind Chip-Designs unterhalb bzw. jenseits der 2-Nanometer-Klasse.
Wichtig ist auch das Betriebsmodell: Die Pilotlinie arbeitet nach einem Open-Access-Prinzip. Start-ups, Forschende, KMU und große Organisationen sollen dort neue Designs und Prozesse nahe am industriellen Maßstab testen können – bevor es in die Massenfertigung geht. Damit landet ASML-Technologie sehr früh im Entwicklungs- und Testprozess, der spätere Serienentscheidungen in großen Fabs beeinflussen kann.
Zum Konsortium gehören neben imec unter anderem CEA-Leti (Frankreich), Fraunhofer (Deutschland), VTT (Finnland), CSSNT (Rumänien) und das Tyndall National Institute (Irland).
Rückenwind aus Auftragslage und EU-Programm
Der Start von NanoIC fällt in eine Phase, in der ASML von einer hohen Nachfrage nach modernem Lithografie-Equipment profitiert. Ende Januar meldete der Konzern für das 4. Quartal 2025 Rekordwerte, darunter Nettoauftragseingänge von 13,2 Mrd. Euro. Der Auftragsbestand lag zum Jahresende bei 38,8 Mrd. Euro. Für 2026 stellte das Management 34 bis 39 Mrd. Euro Umsatz in Aussicht.
Zusätzlich kündigte ASML ein Aktienrückkaufprogramm über 12 Mrd. Euro bis Dezember 2028 an und hob die Dividende für 2025 auf 7,50 Euro je Aktie an. Der Ex-Tag für die Zwischenzahlung war gestern.
Parallel treibt die EU-Kommission die Diskussion zur Überarbeitung „Chips Act 2.0“ voran. Fünf Pilotlinien – NanoIC, FAMES, APECS, WBG und PIXEurope – stehen zusammen für 3,7 Mrd. Euro an kombinierten EU- und nationalen Investitionen. Ziel ist laut Kommission, Forschung und industrielle Anwendung enger zu verzahnen und Europas Position in globalen Lieferketten zu stärken.
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