ASML setzt bei der Schlüsseltechnologie für modernste Chips nach: Eine neue EUV-Lichtquelle soll deutlich mehr Leistung liefern als bisher. Das klingt nach Ingenieursdetails – könnte für Chipfertiger aber handfeste Produktivitätsgewinne bedeuten. Und es kommt zu einem Zeitpunkt, an dem der Wettbewerb um EUV-Technik spürbar anzieht.
1.000 Watt – und warum das zählt
Wie Reuters berichtet, hat ASML nahe San Diego eine EUV-Lichtquelle mit 1.000 Watt Leistung unter realen Betriebsbedingungen demonstriert. In heutigen Systemen liegen die Werte bei rund 600 Watt. Der technische Hebel dahinter: Statt wie bisher mit einem Laserimpuls zu arbeiten, werden Zinntröpfchen nun mit zwei Laser-“Schüssen” in Plasma geformt – und die Zahl der Tröpfchen wurde auf etwa 100.000 pro Sekunde verdoppelt.
Mehr Leistung bedeutet in der Praxis kürzere Belichtungszeiten. Für Chipproduzenten ist das gleichbedeutend mit niedrigeren Stückkosten – und mit mehr Output pro Maschine. ASML rechnet laut Reuters damit, dass Kunden bis zum Ende des Jahrzehnts rund 330 Wafer pro Stunde je Anlage erreichen könnten, nach etwa 220 heute. Das wäre ein Plus von ungefähr 50%.
Ein Detail macht die Meldung zusätzlich interessant: ASML sieht auf Basis der genutzten Technik „einen recht klaren Pfad“ Richtung 1.500 Watt – und grundsätzlich keinen technischen Grund, warum nicht auch 2.000 Watt möglich sein sollten. Ob und wann das produktreif wird, ist offen. Die Richtung ist aber klar.
Wettbewerb wird härter
Die Veröffentlichung wirkt auch wie ein Signal an potenzielle Herausforderer. Reuters hatte im Dezember 2025 berichtet, dass chinesische Forscher in Shenzhen einen EUV-Prototyp gebaut haben. Zudem arbeiten mindestens zwei US-Start-ups (Substrate und xLight) mit hohen Finanzierungssummen an Alternativen.
Warum ist das wichtig? Weil die Lichtquelle als einer der technisch anspruchsvollsten Teile eines EUV-Systems gilt. Wer hier einen Vorsprung hat, kontrolliert einen zentralen Engpass der gesamten EUV-Wertschöpfung.
Aktienrückkauf, Jahresbericht – und starke Zahlen als Rückenwind
Parallel zur Technik-News meldete ASML am 23. Februar die jüngsten Rückkäufe: In der Woche vom 16. bis 20. Februar wurden 101.512 Aktien für insgesamt rund 123,2 Mio. Euro zurückgekauft. Das läuft unter dem im Januar angekündigten 12-Mrd.-Euro-Programm.
Operativ kommt ASML aus einem Rekordjahr: 2025 wurden laut Unternehmensmitteilung 32,7 Mrd. Euro Umsatz und 9,6 Mrd. Euro Gewinn erzielt. Auffällig stark waren zudem die Auftragseingänge im vierten Quartal (Bookings: 13,2 Mrd. Euro), davon 7,4 Mrd. Euro aus EUV-Bestellungen. Der Auftragsbestand lag zum Jahresende bei 38,8 Mrd. Euro. Für 2026 stellt das Management 34 bis 39 Mrd. Euro Umsatz sowie 51% bis 53% Bruttomarge in Aussicht.
Am Markt spiegelt sich der Optimismus wider: Heute markiert die ASML-Aktie mit 1.279,20 Euro ein neues 52‑Wochen-Hoch.
Konkrete nächste Termine
Bereits morgen (25. Februar) will ASML den Geschäftsbericht 2025 veröffentlichen (US GAAP und IFRS, inklusive Nachhaltigkeitsangaben nach EU-Vorgaben). Die nächsten Quartalszahlen folgen am 15. April 2026.
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